Tanperati a ak imidite espas konstriksyon laboratwa yo kesyon sa te poze detèmine selon kondisyon pwosesis yo, men nivo ankouraje moun yo ta dwe pwan nan konsiderasyon lè satisfè pwosesis yo. Ak a amelyorasyon kondisyon lapwòpte de lè, la se te yon demand de pli zan pli sevè pou tanperati a ak imidite nan pwosesis la. Pwosesis espesifik kondisyon pou satisfè pou tanperati ap gen yon lis pita, men, menm jan yon prensip jeneral, akòz de pli zan pli lèt otomatik jistès, kondisyon pou satisfè pou pòte fluctuation tanperati kit y' ap pi piti e pi piti.
Pa ekzanp, nan lithographies ekspoze pwosè a ranje sikwi entegre pwodiksyon, diferans nan tèmik ekspansyon koefisyan ant vè a e wafer Silisyòm a kòm yon mas materyèl mande pou pi piti piti. 100 messagerie dyamèt Silisyòm wafer, ogmantasyon tanperati 1 degre, sa ki te lakòz yon ekspansyon lineyè 0.24um, li dwe genyen yon tanperati konstan de ± 0.1 degre, pandan ke mande imidite valè jeneralman pi ba, paske moun ki te swe, pwodwi a ap fè polluées, nan an patikilye se pè odyòm semiconductor atelye, tanperati atelye sa a ta dwe pa depase degre 25, pwoblèm mouri imidite te pwodwi plis problèm. Lè moun fanmi imidite est 55%, kondansasyon ap fòme sou miray tiyo dlo refroidissement la. Si l' penis nan yon machin ak presizyon oswa yon chan de kous, li pwal koze aksidan plizyè.
Bay/fè presyon règleman
Pou pi fò propre chanm yo, li nesesè pou kenbe a entèn pwesyon (statique pwesyon) pi wo pase pwesyon eksteryè (statique pwesyon) pou anpeche kont atakan ki kontaminasyon eksteryè. Mentni pwesyon diferans jeneralman ta dwe rankontre apwe pwensip yo:
1. la bay/fè presyon espas sèvis pou moute pi wo pase pwesyon espas ki pa nan kondisyon.
2. la bay/fè presyon nivo lapwòpte anwo nan syèl la pi wo pase adjasan lapwòpte ba nivo bay/fè presyon.
Mentni diferans pwesyon depann sou kantite van ki kapab bay konpansasyon chaj syèl la koule soti nan gap anba pwesyon diferans sa. Se konsa, fizik siyifikasyon ki bay/fè presyon diferans se rezistans pou flit sa yo (oswa pénétration) lè volim de lè a rann nan ke plizyè nan sal propre.
Règleman vitès de lè nan sal propre
Gwo vitès airflow an te diskite isit la an relasyon a gwo vitès airflow nan la Salle. Gwo vitès airflow nan lòt aussi te diskite lè w ap diskite ekipman espesifik.
Pou sal propre boulvèsman la paske pwensipal la depann sou kesyon sa te poze sou dilution nan syèl pou redwi a degre polisyon anndan, ke kantite chanjman de lè kesyon sa te poze ki itilize olye ke yo itilize tou dwat konsèp vitès, men te gen tou sa kap vini an kondisyon pou satisfè pou anndan de lè vitès,
(1) an vitès de lè nan debouche ki debouche de lè a pa ta dwe twò laj. Te konpare ak yon senp chanm climatisé, li mande plus atténuation vitès ak yon pi gwo ang gaye.
(2) a lè inondasyon vitès (pa egzanp, a recirculation vitès nan tan ki bò alimentation) ki soufflé sou avyon kouche plat an pa dwe twò gwo, se pa pou eklate nan lèspas matyè pou retounen règ de lè a ak koze re kontaminasyon. Vitès sa a jeneralman pa rekòmande pou fè gwo tankou 0.2 m/s.
Kòt a kòt pèdi pou fè sèvis chanm "ki te endike tankou nan sal écoulement propre", gwo vitès la Coupe se yon trè enpòtan endikatè en à ki fait sa twonpèt la kesyon sa te poze yo itilize pou lè inondasyon pou retire / a. Nan tan lontan, referans t' ap fè pou Etazini 20 Go estanda 0.45 te itilize. m/s. Men, pèp tou yo aprann ke kantite yerasyon egzije pou gwo vitès trè laj. Pou mete sou kote enèji, ap tou chèche faisabilité de diminye gwo vitès van.
Nan la chin, tou de mezi Cleantech de lè yo ak kòd plan Salle yo
Flux vètikal kòt a kòt (inondasyon écoulement) propre chanm ≥0.25 and/s
Kouche plat inondasyon paralèl (inondasyon écoulement) propre chanm ≥ 0.35 and/s
Bri kontwòl
Bri nòmal pou sèvis laboratwa konstriksyon ki konn sevèr pase sa yo pou pwoteksyon sante. Lide an se pou asire ke operasyon yo te pote nòmalman ak sa nesesè conversational kontak ak sekirite epi konfòtab travay pou yon anviwònman ki te rankontre. Se pou sa, endikatè a pi gwo bri nan yon chanm propre se.
1. la fè tonbe nan peche
Bri, akòz pèp santi pa nan lokal li e gen emosyon tonbe nan peche. Yo jeneralman divize an trè viv ak kè poze, anpil viv ak kè poze, viv ak kè poze, yon ti jan renmen fè bwi, relativman renmen fè bwi ak a mò bruit. Kote ki nivo repons trè renmen fè bwi a mò renmen fè bwi, se anwo nan syèl la perèz, ak pousantaj gwo kantite nan total chif nan lafliksyon, se yo ki te konn enkyetid anwo nan syèl la.
2. enpak sou travay efikasite
Men kesyon sa te poze depann sou nivo repons nan twa zòn. Twa Aspè sa se: konsantrasyon, jistès bonb aksyon, vitès travay yo.
3. entèferans ak entegre nan kominikasyon